管式炉在进行操作使用中,是需要通入气体的,根据不同的需要可通入惰性气体或其他烧结气体。但在一定条件下还需要对气体进行置换操作,具体的方法如下。
1、关闭管式炉抽气口法兰上的针阀,打开气瓶约至以下,打开气柜上进气阀Tv1orTv2,同时观察气柜上的P1orP2压力,打开排气阀Tv3,再打开进气口法兰上的针阀
2、打开MFC1or2至阀控位置,缓慢调节“设定”旋钮至zui大(1000ml/min),当法兰真空压力表达到时,关闭其上针阀,调节流量为0,打开抽气口针阀,抽气至,再关闭抽气口针阀。
3、再二次打开管式炉进气口针阀,缓慢开流量至zui大,真空压力表至,关闭进气口针阀,调节流量为0,打开抽气口针阀,抽至,再关闭抽气口针阀,完成二次气体置换。
4、根据需要重复气体置换(步骤3),一般三次,关闭真空泵。
管式炉在进行气体置换操作时,为了确保设备以及操作人员的安全性,和确保气体置换的成功,一定要严格按照相关的流程来进行。